機械規格:
研磨盤外徑 1127mm
夾具(游星輪)直徑 370mm,DP12, Z200
夾具(游星輪)數量 5 SETS
每次總加工數量:
6"晶圓: 15片
8"晶圓: 5片
12"晶圓: 5片
最大加工厚度 40 mm
最小加工厚度 0.4 mm