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【超音波加工】氧化鋁陶瓷:M2內螺牙
【超音波加工】氧化鋁陶瓷:M2內螺牙加工|漢鼎智慧科技Hantop Intelligence Tech.
漢鼎的超音波驅動模組應用在99.7%氧化鋁陶瓷M2內螺牙加工,超音波的高頻率微振動使刀具在加工時間接接觸工件,幫助排屑並帶走切削熱,有效降低刀具磨耗,完成極小尺寸M2內螺牙特徵加工。
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氧化鋁陶瓷(Aluminum Oxide,Al2O3)良好的耐化學性及熱穩定性,使它廣泛地被應用在半導體製程中(如蝕刻、薄膜等),作為關鍵製程零件(如陶瓷靜電吸盤ceramic electrostatic chuck)的材料。陶瓷材料的靜電吸盤(Ceramic Electrostatic Chuck,Ceramic ESC,Ceramic E-chuck)採用高密度多孔性陶瓷層,確保在晶圓切割過程中,吸附力分佈平均,並透過高精度加工處理,維持絕佳的孔品質與平面度。

然而,氧化鋁陶瓷的高硬脆性特質為許多加工業者帶來極大的挑戰。尤其針對極小尺寸(如M2)的內螺牙特徵,在傳統CNC加工過程中,過大的切削阻力(cutting force)以及刀具在加工時連續性接觸工件,都會加速、加劇刀具磨耗狀況,隨著螺紋深度增加,內螺牙大徑越來越小,最後導致螺絲無法完全鎖固,將嚴重影響最終產品品質。

漢鼎超音波輔助加工技術,超音波的高頻率微振動在加工過程中,讓刀具間接性地接觸工件,大幅度降低刀具與工件密集接觸時產生的切削熱,同時讓切削液順利流入,達到有效冷卻並幫助排屑,刀具磨耗獲得改善,以確保內螺牙特徵的完整性,成功提升工件品質。
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除了氧化鋁陶瓷之外,漢鼎的超音波輔助加工技術也能應用在許多硬脆性、難切削材料的精密加工上,例如石英玻璃(quartz glass)、碳化矽(silicon carbide,SiC)、藍寶石(sapphire)、鎢鋼(tungsten carbide)、模具鋼(mould/tool steel)、合金鋼(alloy steel)、鈦合金(titanium alloy)、複合材料(composites)等。
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