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【超音波加工】半導體晶圓製程--石英玻璃環(Quartz Glass Ring)
🕜 加工效率UP: 一體化完成加工與砂輪修砂製程，有效節省整體工時
📈 石英環透明度顯著提升，工件品質UP!
⚙️ 大幅減少刀具磨耗: 維持加工穩定性
【漢鼎超音波製程解決方案】石英玻璃環(Quartz Glass Ring)：砂輪刀把 環磨/修砂
在半導體蝕刻製程設備中，石英環用於固定晶圓，確保晶圓在進行乾／濕蝕刻時，穩定吸附於靜電吸盤（E-Chuck，Electrostatic Chuck）上。由於石英環與晶圓片的高度接觸，因此針對內環的表面粗糙度要求甚高。內環表面粗糙度不佳，可能導致晶圓在蝕刻製程中遭受化學氣體／液體的過度腐蝕，嚴重影響產品良率。
針對碳化矽材料的粗磨削製程導入漢鼎超音波製程解決方案：
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👉🏻想了解更多超音波模組產品資訊？歡迎聯絡我們 https://www.hit-tw.com/tw/contact.aspx 👈🏻
💡了解更多超音波輔助【半導體零件加工】應用案例：https://www.hit-tw.com/tw/advantage.a...
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漢鼎智慧科技 Hantop Intelligence Tech.
✨超音波先進材料加工製程解決方案✨
☎️ 04-2285-0838
📧 sales@hit-tw.com
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