【超音波加工】半導體晶圓製程--晶圓研磨主軸:單晶碳化矽(SiC) 晶圓研磨
在 SiC 晶圓研磨(Wafer Grinding)製程中,如何同時兼顧「極致的表面平整度」與「低耗材成本」是業界的共同挑戰。
漢鼎導入專利研發超音波研磨主軸,透過超音波輔助機制有效降低研磨阻力,為 SiC 晶圓加工繳出突破性的實測成績單!
根據實測數據顯示,導入超音波技術後,砂輪壽命與 GR(研磨比)展現顯著成效:
🔹6 吋晶圓(#2000):GR 研磨比從 2.4 提升至 4.1,大幅躍升 70%。
🔹8 吋晶圓(#8000):GR 研磨比從 0.9 提升至 1.4,穩定提升 55%。
這項技術不僅大幅減少耗材成本,更有效降低換輪停機時間,為半導體製造商創造更高的生產效率。
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💡了解更多超音波輔助【半導體零件加工】應用案例:https://www.hit-tw.com/tw/advantage.a...
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漢鼎智慧科技 Hantop Intelligence Tech.
✨超音波先進材料加工製程解決方案✨
☎️ 04-2285-0838
📧 sales@hit-tw.com
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